Bereits 1738 verwendete der Schweizer Daniel Bernoulli die Differenzdruckmethode zur Messung des Wasserdurchflusses auf Grundlage der ersten Bernoulli-Gleichung. Später untersuchte der Italiener GB Venturi die Verwendung von Venturi-Rohren zur Durchflussmessung und veröffentlichte seine Forschungsergebnisse 1791.
Im Jahr 1886 verwendete der Amerikaner Herschel Venturi-Rohre, um ein praktisches Messgerät zur Messung des Wasserdurchflusses zu bauen.
Vom frühen bis zum mittleren-20 Jahrhundert entwickelten sich die ursprünglichen Messprinzipien allmählich weiter und die Menschen beschränkten ihr Denken nicht mehr auf die ursprünglichen Messmethoden, sondern begannen mit neuen Erkundungen.
In den 1930er Jahren gab es eine Methode, mit der man Schallwellen zur Messung der Durchflussrate von Flüssigkeiten und Gasen nutzen konnte. Diese Methode machte jedoch bis zum Zweiten Weltkrieg keine großen Fortschritte. Erst 1955 wurde der Maxon-Durchflussmesser mit der Schallzyklusmethode eingeführt, um den Durchfluss von Flugbenzin zu messen.
Nach den 1960er Jahren begann die Entwicklung von Messgeräten in Richtung Präzision und Miniaturisierung.
Mit der rasanten Entwicklung der integrierten Schaltkreistechnologie sind auch Ultraschall-Durchflussmesser (Wellendurchflussmesser) mit Phasenregelkreistechnologie weit verbreitet. Der weit verbreitete Einsatz von Mikrocomputern hat die Durchflussmessung weiter verbessert. Beispielsweise können Laser-Doppler-Durchflussmesser nach dem Einsatz von Mikrocomputern komplexere Signale verarbeiten.